APMON表面粒子沉积监测仪

产品概述

「监控粒子的动态变化」详实记录粒子数量与大小。把制造环境中的粒子堆积风险，用数据化来管理

APMON采即时监控，纪录粒子落下发生的高峰时间，进一步比对发生当下的人、事、物行为，找出引发落尘的“程序”“行为”。这一检测粒子发生原因，并且抑制粒子发生的过程，有助于降低5μm以上的粒子附著。是欧规标准中的重要检讨项目。

经由解析落下粒子的大小

来改善生产线洁净度

APMON可以用图表呈现，过去特定时段内，机台所观测到的粒子大小分布方式。

15~30μm一般是皮肤或纤维、100um以上则多半是衣物纤维造成。30μm以下的粒子，

虽然有可能被换气排出，但是从现场的人员进出程序，与活动管制切入，更能快速达成目标清洁度。

在已经检出50μm以上的大型粒子的空间里，首先应进行洁净流程的重建，后续才能有效回复清洁，

无尘室中所使用，大型粒子的监控规格

粒子堆积率（Particle Deposition Rate）是指？

APMON不只是即时监控15~1000μm的所有粒子的动态数量，他还能计算出-段特定时间内的粒子堆积率PDR

PDR=粒子数（> Dμm）/面积（1m2）/时间（1h）

PDR能指出长时间堆积粒子的趋势，相当于每1平方公尺，表面上的粒子浓度变化率。

探用PDR做评价风险的指标，符合IS014644-17对于大型粒子的监控要求。

 相对于PDR, PDRL定了义PDR的上限值（Particle Deposition Rate Limits）

藉由监控粒子堆积率，来管制大型粒子

APMON对于PDR参数的监控，可将生产环境中的落下粒子：浓度变化、大小分布，以及覆盖范围变化等动态，完全掌握。这数据，将协助定义出关键工作区域内的大型粒子「可允许浓度」（个数/面积），并加以监控后续每当「可允许浓度」发生超标的情形，就可以立即针对相关的「行为小「接触小、「表面清洁度J等等，进行试验性的改善，重新降低PDR。

以下是我们对于管控无尘室内的大型粒子，提出的完整建议：

1.使用PartSens评价关键位置的表面污染情形。

2.使用APMON建立无尘室内的行为准则。 

APMON/PartSens将粒子的夹带、产生、堆积等过程，全面数据化。

如何详细描述风险性粒子

关键粒径（μm）

容许浓度（粒子数）

产品的关键表面大小（c㎡）

关键工作区域（㎡）

如何设定洁净度的上限规格

PDR （粒子堆积率）上限

SCP（表面洁净度）上限

检测原理

雷射全像技术可以实现大面积的监控

借由雷射光在物体表面绕射，及傅立叶转换等技术，实现3D成像，所得资料，即是五分钟前的粒子落下数量与粒子大小的累积值。

最短监控时间间隔，可以短至五分钟。 

能执行大面积的监测,APMON的一大优势

粒子计数器(air particle counter)

只能检测漂浮在无尘室空气中的浮游粒子

粒子计数器（air particle counter）

通常是用窄口径的取样管，吸入粒子。

实际上，大型粒子不容易进到粒子计数器的探测区，也无法被吸入。

ISO等国际标准，已经要求用PDR(数据化）作为落下粒子的有效管控标准。 

APMON-即时粒子沉积监控器

透过在生产区域布建APMON，将可以有效监控15μm大小以上的粒子堆积行为（最短探样区间：五分钟）

从此，造成粒子掉落的「时间」「人员」「原因」，都将有迹可循。

■链接示意图

专业软件监控/解析数据

■判读数据显示示例

涵盖粒子大小：

15~ 30~40~ 50~60、70~80~90~ 100~200~ 300~400~500>600~ 700~800~900、1000μm (最大直径)

应用行业：

电子、半导体、医药、航空航天、精密仪器、汽车、实验室等领域的洁净室。