PartSens 无尘室颗粒检测仪

产品概述

测定器放置后，数秒丙分析表面的染色程度

PartSens从无尘室的前厅、空气浴尘室、工作桌、机台里外、工作服、手袋、甚至墙面。

空气浴尘室的效果，或者是产品清洁改善效果。

内建无线传输功能，方便移动取样。

出色的实用性 克服显微镜下目检的污染误差

旧有的表面洁净度分析方法(空气粒子计数器)，采用吸入式采样，并运送到实验室以显微镜检视。这方法用在采样5um以上的大型粒子，有重大的缺陷。首先，

1. 大型粒子无法被有效吸入收集。

2. 在搬运到显微镜的过程中，有二次污染的先天误差，

当今无尘室中常见到计算悬浮粒子的光学式粒子计数器,若要将它改用在监控表面附著的粒子，也不是适当的工具。

PartSens创新的直接取样技术，可以监控粒子污染的发生、PartSens是唯一被收录在VDA 19.2"组装过程的洁净技术"章节中的洁净度监控机台。

重新认识表面污染过程

「堆积」与「接触移转」是两大关键

无尘室气体中，大于5~25um以上的粒子，受重量与气流的作用，通常会在各处落下并堆积，污染各个表面。粒子一旦附著在表面之后，就很难透过换气系统再排除。长时间下来，表面粒子堆积将会劣化表面洁净度。透过接触移转，又将扩大污染范围。

PartSens的使用情景

重新检视清洁流程 落实真正的洁净

环境中的大型粒子，只有透过有效的清扫才能除去。所谓有效的清扫，是指经过最佳化设计的清扫方法。达成最佳化，就必须在各地点、各表面，设定[目标清洁度」*「目标清洁度」=风险粒子数/cm²

执行步骤:

1.以PartSens来评估现有流程，并加入实验性的改变，机动的调整工具、方法、人数、时间、频率等等因子，得到最佳流程。

2.将流程标准化，并落实人员训练。

3.以PartSens依据“目标清洁度"，做日常监控。 

除了上述步骤，也可以活用「针对服装、手套做检查」「搬运工具的检查」「针对机台做特定区域检查」这一类的发想，来实现必要的洁净。

在评估制造环境的表面洁净度时，部分传感器可以“就地量测、马上判读”这就是最具功效的应用方式。

全面数据化管理

可以针对：粒子大小、粒子种类，做交叉排列分析。充分的原始数据，是彻底改善洁净度的重要一步

粒子分类与可检出尺寸

非金属<5μm ~ >3000μm

金属<25μm ~ >3000μm

纤维<50μm~>3000μm

不受局限的量测方式

PartSens 革新了昔日“先取样、再搬运、后判读”的模式，而是采用创新的“取样即判读”方式。

得力于内建电池与无线传输，它具备了移动监控的能力。只需在充电时，置入主机即可。

PartSens 被欧洲品质规格 VDA19.2《组装过程的洁净技术》唯一收录，也是符合 ISO14644 - 9 规格与原理的洁净度监控设备。

PartSens 符合 VDA19.2 所要求的直接或间接测定原则，也符合 ISO14644 - 9 所要求的斜射光系统（glancing light system）。

如图所示，测定器先遮蔽外部光线，接着从鉴定区域的左右 LED 入射入光线。异物反射光经由透镜汇聚到 CCD 相机进行判读。只需几秒钟的数位化过程后，就能得到粒子立体外形、大小数量等全部信息。

与其他厂商相比，只能针对判定物与背景的差异做简单比对，PartSens有很大的技术领先优势。

若要检测粗糙（2μm 以上）的表面，搭配专用的取样垫片（Tape Lift Pad），也同样可以完成测定。

产品清单

产品清单

主机：搭载大面积触控面板

测定器：无线通信，操作便利

打印机(选购)：若需要打印测定结果，可选购专用的蓝牙打印机

取样垫片(选购耗材)：可选择专用的取样垫片(fapeLiftpad)，来鉴定各个场合的洁净度。从待测对象上取样污染粒子后放上专用台，开始直径大小为 36mm，在人员进入气浴除尘室(airshower)之前、后，或采集无尘服的表面，可以协助评价污染防治对策。在轻度的粗糙面，粒子有效移转率更高达 99%!